静电放电敏感性测量 : v. E5 v/ B6 H" o) b 1 参考文档 ) o( H8 q# Y) v+ Q 1.1 参考文档 (内部 ST 参考) 0 K; }6 k, a4 a( f ■ 0061692 “产品鉴定的可靠性测试规范” + \( `; E# z4 i1 { ■ SOP2614 “产品鉴定的可靠性过程” , w$ ? o5 [6 }' U4 } n. {- O$ } 1.2 其它参考 " h) p" Q& N2 I3 g2 j b8 M* D' V ■ CDF-AEC-Q100-002 “人体模型 ESD 测试” 3 N& v- P3 W) z1 L- ?7 k ■ CDF-AEC-Q100-003 “机器模型 ESD 测试” " {$ t) W9 O% p. J, i ■ ESD 协会标准草案 DS5.3 - 1993 ESD 敏感性测试草案标准 - 充电设备模型 (CDM) 组件测试 ■ ESD 协会标准草案 DS5.3.1 - 1996 充电设备模型 (CDM) 非转接座模式 $ t& g( p( H2 X+ }: m ■ JEDEC 标准 JESD22-C101 “电场诱导充电设备模型” ■ JEDEC 标准 JESD22-A114A “人体模型” ■ JEDEC 标准 JESD22-A115A “机器模型” ■ ESD 协会标准草案 DS5.2 - 1996 “机器模型” ■ ESD 协会标准 ESD STM 5.1 - 1998 “人体模型” # h& ?4 L4 c1 ^9 Z% W0 I ■ EIAJ 临时标准 EDX-4702 “充电设备模型”9 v( a/ B2 z/ A' } * ]& q1 o* ~) X% n 2 定义 " o6 p. t% z3 C# Q: b — DUT (在测器件):进行 ESD 敏感度评估的器件。 4 r4 ?+ t! T- _1 S3 U" `, I- u — ESD (静电放电):处于不同静电电势的主体之间的静电电荷转移。 — 静电放电敏感度:导致部件故障的 ESD 电压。 — ESD 模拟器:用于模拟本规范描述的模型的仪器。 — 人体模型 (HBM) ESD:模拟人体向器件放电的 ESD 脉冲。 $ z8 T5 }9 k1 C" P7 k' G/ D — 机器模型 (MM) ESD:近似于机器或机械设备脉冲的 ESD 脉冲。 — 最大耐压:产品通过第 4 节中指定的失效标准要求的最大 ESD 电压。 + B3 O: ?, V/ f; c- D9 ^ — PUT:在测引脚。 + y: s) H$ b# q — 非电源引脚:除电源引脚和非连接引脚之外的所有输入引脚、输出引脚、双向引脚和时钟引脚。 $ q& v6 a1 `% }' L — 电源引脚:所有电源引脚、外部电压源引脚和接地引脚。 3 Q: j) E h7 m# }$ Z% F6 ]$ u4 V — 相似命名的电源引脚:具有相似名称和功能的电源引脚。例如,VDD1 - VDD2、VCC1 -VCC2、 GND1 - GND2。 — 振铃电流:通常在脉冲上升时间之后出现的阻尼高频电流振荡。 * ^) K2 d/ e/ c. m6 `! P. [ 3 常规 1 {9 J( d* B, J" }( c' W: p ■ ESD 脉冲模拟器和 DUT 9 h5 M h7 ]5 ^$ c1 u+ v& b7 C( V ■ 有关 HBM 的信息,请参见图 1 ! O, K' e4 j2 ^5 M3 l* e ■ 有关 MM 的信息,请参见图 2 ; L0 {4 e" e: }. G7 v h' q3 n 3.1 测量设备 7 G& a/ d+ J/ o+ u' X; K, F 3.1.1 对于 HBM 和 MM 最小带宽为 350 MHz 的示波器和电流探头。 & Y: p) a7 _. f2 w+ A) X 电流探头的最大电缆长度为 1 米。 2 r" `; C. x4 t' C* g — 评估负载: 7 m1 I$ Q* y! u7 F. K1 i. w( d3 H a) 低电感、 1000 V、 500 Ω +/- 1% 喷镀薄膜电阻 ; t( ?0 W. y# y) ~ @& r# i3 N5 ?( j% B0 L# s2 V9 c b) 镀锡铜短接线 * i: Y# ~" z6 P) C 3.2 设备鉴定 7 ?/ x" @4 W) E4 q 必须在设备验收的首次测试期间以及可能影响波形的维修之后执行,并且每年至少执行一次,除非测试装置供应商有不同的建议。 对于 HBM 和 MM,在连接短路线或者 500 Ω 负载的最多引脚数测试插座上,测试装置都满足表 1 和表 2 中所有电源等级下的要求。 3.3 波形校验 5 \# W( }6 j" I% M" C5 Y6 N- E9 t 2 {# R9 f1 L% A3 j! O8 @0 Q 必须至少每 6 个月执行一次。对于 CDM,允许使用 1 GHz 的示波器。3 G; i4 S/ w5 M; y * N6 [* H( b/ F2 Y1 }) W3 S6 _ 4 过程 & f* C2 k0 |; T: ?' u) s+ o — 必须按照适用的数据手册(静态参数和动态参数)测试所有单元。样本大小取决于 HBM和 MM 的规范 0061692,最小样本大小为 3 个设备。 9 b8 H/ Y/ b$ S0 ?, O" r — 对于 HBM 和 MM,应使用表 3 中指定的所有引脚组合同一电压下对每个样本进行测试,对每个引脚组合施加 3 个正脉冲和 3 个负脉冲,除非详细规范中有不同的要求。两个脉冲之间的最小间隔为 1 秒。 / d2 n5 x7 D5 L+ l# I" l a 注释 A:对于相关产品组 Q&R 部门负责的 HBM 和 MM 测试,可以降低测试标准,以符合 ESD 协会标准 ESD STM5.1 1998 (1998 年二月)和 JEDEC 标准 JESD22- A114A以及 JEDEC 标准 JES22 - A 115 A,具体为对每个引脚组合施加一个正脉冲和一个负脉冲,除非详细规范中有不同的要求。如果要求使用多个脉冲,则脉冲之间的最小间隔为500 毫秒。 注释 B:对于 HBM 和 MM,如果需要,对于每个电压或引脚组合可使用 3 个新元件。这将消除任何步进应力硬化效应,并降低由于电源引脚上的累积应力而导致过早失效的可能性。但是,如果在每个电压都对独立的一组 3 个元件进行应力测试,那么为了避免漏掉可能的 ESD 漏洞窗口,建议不要忽略任何应力测试步骤。 — 失效标准: # J6 P6 b) u) u' B) p6 i — 如果产品的所有单元都通过了在某个电压的应力测试,则该产品在该电压合格。 * @2 [7 [# i' o& s' M5 a' d# X — 如果某一单元在暴露于 ESD 脉冲后不再满足数据手册要求 (静态参数和动态参数),则将该单元定义为失效。 ' n: M* q" N# ~$ e, @9 N$ i 5 Y) V7 _. u0 _: q 注:可通过在失效电压使用新样本进行重新测试,来消除累积损坏效应带来的影响 ........... 想了解更多,请下载原文阅读 |